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采用浮栅技术的90纳米ETOX NOR 型快闪记忆体的研究和产品开发

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登记号:G20171175

所属行业:制造业

学科分类:语音处理;

关键词:

绿色分类:材料节约;

  • 基本信息
成果名称: 采用浮栅技术的90纳米ETOX NOR 型快闪记忆体的研究和产品开发
成果登记号: G20171175 学科分类: 语音处理;
绿色分类: 材料节约; 项目关键词:         
推荐单位:

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

成果所处阶段:
合作方式: 成果所属行业: 制造业
国家/地区: 上海 知识产权: 发明专利,其他
简介: 点击查看

本项目"采用浮栅技术的90纳米 ETOX NOR型快闪记忆体的研究和产品开发"开始于2008年,项目总投资2058万。ETOX 技术是NOR 型闪存存储器中应用最主流的技术,大约70%的闪存采用的都是这种技术。NOR型闪存是最早出现的闪存存储器,具有可靠性高、随机读取速度快的优势。其架构的特色在于能提供高速的数据读取性能,因此被视为是存储指令的最佳选择。不仅如此,它还具有SRAM接口,也提供足够的地址接脚来进行寻址,并可以在其内部直接执行程序代码。随着各类消费性电子数码产品,如智能手机、平板电脑等成为市场上的主流产品,闪存(Flash)的地位也跟着水涨船高。在擦除和编程操作较少而直接执行代码的场合,尤其是纯代码存储的应用中广泛使用,如电脑的BIOS 固件、手机、硬盘驱动器的控制存储器等。2008年,90nm技术是国际快闪存储器生产的主流技术,主要由国外知名的NOR 闪存供应商Spansion(飞索半导体)、Intel(英特尔)、ST(意法半导体)等垄断。本项目的90nm ETOX 快闪记忆体是中国内地第一个采用90nm制造工艺的闪存存储器,除了中芯国际之外,当时国内尚没有一家公司进行该技术的研发。此项技术的成功开发和量产,将中国自主研发的闪存制造技术提升至90nm, 推动了产业链上下游的设计业及封装测试业的技术发展,填补了国内在该技术领域的空白,打破了由国外垄断技术的局面。本项目于2010年5月完成研发,在器件工艺、模型与数值仿真数据库等方面进行了技术创新和提升,突破的关键技术有:1、在器件工艺方面,通过工艺优化,研究开发了一种浅沟道隔离结构的制造方法,提高了产品的良率和可靠性。  2、开发硬掩膜工艺来弥补ArF光刻胶过薄对蚀刻的影响,有效地改善了控制器件关键尺寸的控制及均匀度,提升了产品良率和产品可靠性。3、成功建立了整套模型与数值仿真数据库,加速后续客户器件调试的的完成。为新客户的快速验证设计电路,器件微调整提供了便利快捷的服务。4、有效改善器件(H/LV MOS, Resistor等)的不匹配。在保持低压管高性能,低损耗的基础上,还开发出足够高电压的高压管。5、在产品可靠性方面,该工艺达到了擦写10万次,数据保存十年的行业标准并顺利通过了客户的产品测试。截止目前,本项目共提交13项发明专利,其中6项已获得发明专利;其余7项正在受理中(1项为美国专利)。截至2012年12月, 该项目累计新增产值13134万元,实现利润2100万元, 产品销往北美,东亚和国内市场,品种达57个以上。本项目的产品主要应用于各类消费电子,如数字电视/智能电视、机顶盒、DVD、网络设备、PC及笔记本电脑、服务器、移动设备、手机、移动网络设备等。

姓名: 万颖 性别:
出生日期: 职务:
国籍(地区): 联系地址:
电子邮件: Emma_wan@smics.com
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