0.18微米中低压BCD公共工艺平台研发及大规模量产

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科学研究和技术服务业

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简介

近年BCD (Bipolar CMOS DMOS) 技术发展迅速，是电源管理、显示驱动、汽车电子等IC 制造工艺的优选。BCD 工艺与数字逻辑工艺不同， BCD工艺并像逻辑工艺追求线宽极致微缩，更关注开发多种高压功率器件性能优化，满足不同应用场景的使用，在目前市场应用中BCD 还主要集中在 0.8 微米/0.6 微米/0.35 微米。0.18 微米BCD 技术在成本和性能考量，必然成为未来数年内的BCD 主流先进平台技术，在实践中也确实得到越来越多客户的青睐，除了被国内外高端客户陆续采用，不少原本在0.6 微米/0.35 微米的BCD 客户也开始向0.18 微米节点转入，可以预见0.18 微米BCD 在未来几年会有长足的发展。件性能的专属特殊工艺，对于大电流应用，提供过大电流能力超厚金属，增加EPI 模块的选择（提供外延和非外延工艺平台选择），模块化的设计，为应用提供更灵活的选择空间，同时0.18 微米BCD 技术可以好的支持高集成度电源产品对逻辑IP 的需求。本平台特色：0.18 微米平台，低压1.8V/5-6V CMOS, 中压10V/16V/20V/30V/40V LDMOS,LDMOS 可支持三类结构（漏端隔离，源端隔离，器件整体对地隔离），多样化的集成无源器件（高阻电阻，肖特基，齐纳管）可供选择，丰富的IP 支持（OTP,SRAM, e-fuse,standard cell,etc）,对于为大电流高端应用，提供模块化的EPI 制程段供选择。在知识产权方面：本项目授权发明专利11 项,还在申请过程中的~40 项。社会效益产业化成果：产业化应用更好的支持国内外设计公司，模块化的设计给不同应用提供更多便捷的选择，提高了电源管理芯片设计到应用的周期，提升了国内外设计公司高端电源管理芯片的产品性能和可靠性，从而有效的提升半导体产业链整体发展。经济效益成果：在本项目研发的IP 成果基础上，自2012 年以来，已成功支持了大批量的相关芯片产品的生产。服务的主要国内外IC 设计公司包括高通、海思、展讯等龙头IC 设计公司。为中芯国际新增产值超过65 亿元，创收外汇7.8 亿美元。

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