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大面积、高深-宽比微纳结构(HARMS)的超精密在线测量基础技术研究

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登记号：G20175577

所属行业：科学研究和技术服务业

学科分类：环境科学技术及资源科学技术;

关键词： 超精密测量系统 扫描探针 测量设备

绿色分类：其它;

  • 基本信息
成果名称： 大面积、高深-宽比微纳结构(HARMS)的超精密在线测量基础技术研究
成果登记号： G20175577 学科分类： 环境科学技术及资源科学技术;
绿色分类： 其它; 项目关键词： 超精密测量系统  扫描探针  测量设备    
推荐单位：

成果所处阶段：
合作方式： 成果所属行业： 科学研究和技术服务业
国家/地区： 浙江 知识产权： 其他
简介： 点击查看
该项目针对大面积、高深-宽比微纳结构(HARMS)，基于“亚接触式”测量机理，从关键组件到超精密测量系统进行了深入研究，克服传统扫描探针测量设备在测量范围、速度以及深-宽比三个重要测量参数之间无法平衡的缺陷。首先采用电化学蚀刻工艺，在传统蚀刻工艺基础上进行了蚀刻过程分析与数学建模，优化电解研磨参数改进制作工艺，研发了批量生产大长径比99.999％纯钨扫描探针制作设备。进一步的研究了大长-径比探针和被测微纳表面之间的机械特性耦合以及稳态动力学特性，从而基于实验室自制的优质钨丝探针自主开发了跨尺度超精密测量系统，实现了微结构掩膜板的大范围超精密测量，并对深度达到20μm以上的高深-宽比结构进行了关键参数评估。最后建立基于螺旋扫描模式的高速、大面积扫描系统对于双正弦平面光栅结构实现了大范围扫描，并形成基于螺旋扫描模式的超精密测量装置自寻位模型。
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