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特气分离和提纯装备解决方案

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登记号：G20251449

所属行业：制造业

学科分类：环境科学技术及资源科学技术;

关键词： 特气分离和提纯

绿色分类：资源利用;

  • 基本信息
成果名称： 特气分离和提纯装备解决方案
成果登记号： G20251449 学科分类： 环境科学技术及资源科学技术;
绿色分类： 资源利用; 项目关键词： 特气分离和提纯        
推荐单位：

上海联风能源科技有限公司

 成果所处阶段： 成熟应用阶段
合作方式： 面洽, 成果所属行业： 制造业
国家/地区： 中国 知识产权： 发明专利,实用新型专利,其他
简介： 点击查看
氩回收系统通过对氩气作保护气的尾气（例如单晶炉的尾气）进行收集，根据用气情况，采用化学除杂、低温精馏除杂等工艺以及变负荷模型预测控制系统。其中低温精馏除杂以及变负荷模型预测控制系统是核心工艺。根据回收氩气的杂质情况，流量组分波动情况，进行工艺组合，实现氩气的重复利用。 以20GW拉晶为例，氩气使用量为10000Nm3/h；装置单位能耗实现0.474Kwh/Nm3；回收氩气纯度：氩≥99.999%，H2≤0.5ppm，O2≤1.5ppm，N2≤4ppm，CH4≤0.4ppm，CO≤0.3ppm，CO2≤0.3ppm，H2O≤3ppm；氩气回收率达96%以上，9600Nm3/h以上重复利用。 能耗为空气分离提纯的3-5%，以10000Nm3/h的氩回收装置为例，每小时减少61吨CO2排放。
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