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多模式三维测量显微镜技术及仪器

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登记号：G20180205

所属行业：科学研究和技术服务业

学科分类：材料科学其他学科;无线电物理;

关键词： 微纳尺度空间三维测量技术 干涉共焦显微镜

绿色分类：其他资源效率提升;

  • 基本信息
成果名称： 多模式三维测量显微镜技术及仪器
成果登记号： G20180205 学科分类： 材料科学其他学科;无线电物理;
绿色分类： 其他资源效率提升; 项目关键词： 微纳尺度空间三维测量技术  干涉共焦显微镜      
推荐单位：

杨波

 成果所处阶段：
合作方式： 成果所属行业： 科学研究和技术服务业
国家/地区： 中国 知识产权：
简介： 点击查看

随着微纳加工技术的发展，微纳尺度空间三维测量技术需求越来越大。目前，高端微纳结构三维测量仪器主要是国外进口设备，国内在核心技术和工程化方面尚不足。在系统研究干涉显微测量技术和结构光共焦测量技术的基础上，提出了干涉共焦显微镜方案，并得到专利授权，进行了仿真验证，光机结构设计和加工，核心算法研究，软件编写，原型样机测试和改进等工作。提出一种基于可编程照明的显微镜测量模式（申请专利）克服样品多反射率的影响；提出了一种基于选择采样的相位求取算法，克服相移误差影响；在核心器件设计上，任务开展了低倍到高倍系列干涉显微物镜的设计工作。原型机纵向测量重复性经过第三方计量单位测试优于0.5nm。原型机已经为光刻、精密光学元件加工、机械加工相关单位提供了三维微观测试服务，测试效果良好。
姓名： 成果录入人员6 性别： 男
出生日期： 2018-05-16 08:00:00.0 职务：
国籍(地区)： 联系地址：
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